醫用鉛玻璃薄膜的制備采用噴霧熱解法,一層Siq薄膜噴霧熱解用溶液以硅酸乙酯(C2H50)4Si)為出發原料,乙醇(EtOH)為溶劑,以H20和HNO3為催化劑,(C2H50)4Si
:EtOH: H20: HNO3 =1:20:4:0.01。第二層F.
Sb摻雜SnO2薄膜噴霧用溶液的制備方法同第3章,第三層Ti02-SiO2復合薄膜用溶液的制備如圖4-2所示,其中欽酸丁醋與乙醇的摩爾比為1:30(Ti02:
EtOH),乙酞丙酮為絡合劑。為了提高TiO2的親水效果,把TiO2溶膠與SiO2溶膠按摩爾比為6:4
(Ti02:SiO2)的比例配成復合溶膠,最后得到透亮的橙黃色溶膠作為噴涂溶液。
鉛玻璃廠家發現,采用建筑用陶瓷板(磚),同樣沉積鍍膜工藝條件下,薄膜方阻遠遠小于在玻璃基板上的方阻,約降低近一個數量級。由此證實,鉛玻璃基板中的堿性離子(Na+,
K+)擴散進入SnO2膜內導致方阻增大。
為此,引入Si02作為鍍膜層與玻璃基板間的擴散阻擋隔離層(約30nm左右),作對比實驗。圖4-3為Si02襯底阻擋層薄膜及無阻擋層薄膜的熱穩定性對比。實驗中,同樣沉積條件下,引入Si02擴散阻擋層后,薄膜方阻降低約I倍,且薄膜的熱穩定性在<500度的情況下,有較大改善。說明Si02擴散阻擋層能夠在一定程度上阻擋玻璃基板中的堿性離子((Na十、x+)擴散進入Sn02膜,改善薄膜的電導率和提高薄膜的熱穩定性,引入該隔離層對鍍膜玻璃用于鋼化、熱彎等后續熱處理工藝或用于電加熱器件等應用有利。
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